High Purity Chemical Plant 반도체,디스플레이용 초고순도 화학 공급 시스템
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CTS엔지니어링은 반도체 및 디스플레이 생산 공정에 필요한 초고순도(UHP) 화학물질 공급 인프라를 설계·구축합니다.
고순도 배관(UHP/UPl), 제약·Passivation, 청정도 및 Particle 모니터링 등 글로벌 FAB 기준에 부합하는 정밀 설계와 시공 관리를 통해 안정적이고 청정한 화학 공급 환경을 실현합니다.
또한 공정 효율성과 안전성을 동시에 만족시키는 통합 엔지니어링 시스템을 구축하여 다양한 생산 라인의 요구를 충족하고, 품질·생산성·납기 경쟁력을 확보합니다.
고순도 배관(UHP/UPl), 제약·Passivation, 청정도 및 Particle 모니터링 등 글로벌 FAB 기준에 부합하는 정밀 설계와 시공 관리를 통해 안정적이고 청정한 화학 공급 환경을 실현합니다.
또한 공정 효율성과 안전성을 동시에 만족시키는 통합 엔지니어링 시스템을 구축하여 다양한 생산 라인의 요구를 충족하고, 품질·생산성·납기 경쟁력을 확보합니다.
주요 수행 영역
- Engineering UHP – 화학 공정 설계 및 최적화
- Unit Purchase – 초고순도 화학공급 장비 구매 및 검증
- Installation – 시스템 설치 및 시운전
- UHP Piping – 초고순도 배관 설계 및 시공
- ACQC (Airborne Chemical & Quality Control) – 공기 내 화학물질 농도·품질 모니터링
- PSM (Process Safety Management) – 공정 안전관리 및 법규 준수
